氮?dú)鈧}--晶圓倉
氮?dú)鈧}--晶圓倉
料箱庫--夾抱式
料箱庫--托舉式
AGV協(xié)作機(jī)器人
AS/RS系統(tǒng)
Miniload系統(tǒng)
箱式輸送系統(tǒng)
貨到人揀選系統(tǒng)
密集存儲系統(tǒng)
AGV系列
非自動(dòng)化設(shè)備
氮?dú)鈧}--晶圓倉
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